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行業百科全書

  • 改良西門子法

    改良西門子法是用氯和氫合成氯化氫(或外購氯化氫),氯化氫和工業硅粉在一定的溫度下合成三氯氫硅,然后對三氯氫硅進行分離精餾提純,提純后的三氯氫硅在氫還原爐內進行CVD反應生產高純多晶硅。 

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