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行業百科全書

  • 流化床法

    以四氯化硅、氫氣、氯化氫和工業硅為原料在流化床內(沸騰床)高溫高壓下生成三氯氫硅,將三氯氫硅再進一步歧化加氫反應生成二氯二氫硅,繼而生成硅烷氣。 制得的硅烷氣通入加有小顆粒硅粉的流化床反應爐內進行連續熱分解反應,生成粒狀多晶硅產品。

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