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行業百科全書

  • 直拉法(CZ)

    首先把多晶硅料和摻雜劑放在石英坩堝中加熱熔化。然后把籽晶放于溶硅中,待籽晶周圍的溶液冷卻后,硅晶體就會依附在籽晶上。在溫度和拉速達到要求后把晶體向上提拉。在晶體提拉到預定要求后,會把尾部拉制成錐形,這樣一支完整的單晶就形成了。

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